Mis purkash maqsadi turli xil yupqa plyonkalar uchun, shu jumladan mantiqiy va xotira qurilmalarida o'tkazgich materiali sifatida ishlatiladi. Fabmann OEM PVD (Jismoniy bug 'birikmalari) tizimlari uchun 4N (99,99%), 4N5 (99,995%) va 5N (99,999%) kabi turli paritetlarda yuqori sifatli mis maqsadli materiallarni etkazib berishi mumkin va biz ilg'or termomexanik ishlov berishga (ATMP) ko'p e'tibor qaratamiz. ) minimal xarajat bilan ultra yuqori ishlash uchun kristallografik tekstura va don hajmining yaxshiroq sifatini ta'minlash. Biz don hajmi 80 mkm dan kichik va kislorod miqdori 5ppm dan kam bo'lgan aylanuvchi va tekis mis purkagichli maqsadli materiallarni etkazib bera olamiz.
Planar mis maqsadli ishlab chiqarish jarayoni
Ishlab chiqarish jarayonini nazorat qilish yuqori sifatli mis purkagichli maqsadli materiallarni ta'minlash uchun juda muhimdir va odatda quyidagi bosqichlardan iborat:
√ Elektrolitik tozalash, vakuumli induksion eritish va vakuumli elektron nurlarini eritish orqali yuqori toza mis ingotlarini ishlab chiqarish.
√ Ikkinchi bosqich - mis quymasini issiq zarb qilish, issiqlik bilan ishlov berish, sovuq zarb qilish va issiqlik bilan ishlov berishdan o'tish uchun oldindan ishlov berish
mis blankalar.
√ Oldindan ishlov berilgan mis blankasi keyin mis nishonini olish uchun ketma-ket issiq prokat, issiqlik bilan ishlov berish, sovuq haddeleme va issiqlik bilan ishlov berishdan o'tkaziladi.
bo'sh.
√ Mis nishon blankalarining terisini olib tashlang
√ Kerakli yakuniy o'lchamlarga va sirt qoplamasiga erishish uchun maxsus ishlov berish ishlarini bajaring va mis naychaning oldini olish uchun sovutish suvi purkash kerak.
ishlov berish stressi tufayli deformatsiyadan maqsad.
√ silliqlash va parlatishdan so'ng, tayyor mis maqsadli material olinadi.
Planar mis maqsadli o'lchami
√ 750 x 250 (T: 20 mm),
1200 x 250 (T: 20 mm),
914 x 914 (T: 12 mm),
500 x 500 (T: 4 mm),
maksimal uzunligi 3,000mm gacha bo'lgan moslashtirilgan o'lcham
√ CNC, burg'ulash, tishlash, kesish va oluklar bilan moslashtirilgan maxsus maqsad
√ Dumaloq tekis nishonning diametri 2 dyuymdan 6 dyuymgacha, 1/8 dyuym yoki 1/4 dyuym
√ Bog'lash xizmati mavjud
Aylanadigan mis maqsadli ishlab chiqarish jarayoni
Aylanadigan katodlar yoki aylanuvchi nishonlar deb ham ataladigan aylanadigan püskürtme nishonlari magnetronli püskürtme deb ataladigan purkash cho'ktirish texnikasida ishlatiladigan maxsus materiallardir. Cho'kish - bu bug'ning fizik cho'kishi (PVD) jarayoni, yuqori tezlikdagi jarayon bo'lib, o'ta tez ionlar chayqaladigan nishonga tegib, mayda zarrachalarni siqib chiqaradi, yarimo'tkazgichlar, elektronika va yupqa plyonkalar sanoatida turli materiallardan yupqa plyonkalarni substratlarga joylashtirish uchun keng qo'llaniladi. Aylanadigan mis nishonining standart ishlab chiqarish jarayoni vakuumli eritishdan, elektrolitik mis ingotlarini quyishdan va ingotlarni issiq ekstruziyadan va qayta ishlashdan boshlanadi. Birinchidan, yuqori toza mis ingot vakuumli eritish orqali ishlab chiqariladi, so'ngra mis quvur blankasiga issiq ekstrude qilinadi. Shundan so'ng, 1 mm / m dan kam tekislikka erishish uchun gidravlik kalibrlash mashinasi tomonidan to'g'rilanadi. Shundan so'ng, to'g'rilangan trubka bo'shligi CNC dastgohida o'lchov aniqligiga qadar aniq ishlov beriladi, shu bilan birga sirt pürüzlülüğü belgilangan talablarga javob berishi kerak. Quyida batafsil ishlab chiqarish jarayoni keltirilgan:
√ Yuqori toza elektrolitik mis vakuumli induksion eritish pechiga joylashtiriladi va keyin vakuumli eritish amalga oshiriladi.
√ Olingan eritilgan mis mis dumaloq ingot uchun quyma pechning kristalizatoriga quyiladi;
√ Mis quyma keyin issiq ekstruziya uchun ekstruziya barreliga o'tkaziladi va u 400-500 daraja haroratda kamida 25KN bosim talab qiladi. Bu
Issiq ekstruziya jarayonida 150 mkm dan kichikroq don hajmiga erishish uchun bosim etarlicha katta bo'lishi juda muhimdir.
√ Mis quvur blankasi tabiiy ravishda xona haroratiga qadar sovutiladi va keyin to'g'rilanadi. Mis quvur devori 20 mm dan katta bo'lsa, u
to'g'rilashdan oldin trubkani 200 ~ 300 darajagacha qizdirish kerak.
√ Mis quvur blankasi kesiladi va kerakli spetsifikatsiyaga muvofiq qayta ishlanadi va mis quvur nishonining deformatsiyalanishiga yo'l qo'ymaslik uchun sovutish suvi purkash kerak.
ishlov berish stressi tufayli.
√ silliqlash va parlatishdan so'ng, tayyor aylanadigan mis maqsadli material olinadi.
Planar nishonlar bilan taqqoslaganda, aylanuvchi nishon ko'proq materialni o'z ichiga oladi va undan ko'p foydalanishni taklif qiladi, bu esa uzoqroq ishlab chiqarishni va tizimning ishlamay qolish vaqtini qisqartirishni anglatadi, qoplama uskunasining o'tkazuvchanligini oshiradi. Bundan tashqari, aylanadigan purkagich nishoni issiqlik to'planishi nishonning sirt maydoniga teng ravishda tarqalishi tufayli yuqori quvvat zichligidan foydalanishga imkon beradi. Natijada, reaktiv püskürtme paytida yaxshilangan ishlash bilan birga cho'kish tezligini oshirish mumkin. Planar nishonlar bilan taqqoslaganda, aylanuvchi nishon ko'proq materialni o'z ichiga oladi va undan ko'p foydalanishni taklif qiladi, bu esa uzoqroq ishlab chiqarishni va tizimning ishlamay qolish vaqtini qisqartirishni anglatadi, qoplama uskunasining o'tkazuvchanligini oshiradi. Bundan tashqari, aylanadigan purkagich nishoni issiqlik to'planishi nishonning sirt maydoniga teng ravishda tarqalishi tufayli yuqori quvvat zichligidan foydalanishga imkon beradi. Natijada, reaktiv püskürtme paytida yaxshilangan ishlash bilan birga cho'kish tezligining oshishi kuzatilishi mumkin.
Rotary Sputtering Nishonning afzalliklari
√ Yaxshilangan bir xillik, nishonning aylanishi uning yuzasi bo'ylab bir xil eroziya va cho'kmalarga erishishga yordam beradi. Maqsad aylanayotganda, boshqacha
nishonning hududlari ion bombardimoniga duchor bo'lib, eroziya va cho'kish tezligini oshiradi.
√ Maqsaddan foydalanish yaxshilandi, eroziya kattaroq sirt maydoniga tarqaladi, mahalliy zararni kamaytiradi va nishonning ishlash muddatini uzaytiradi. Bu ham
jarayon samaradorligini oshirishga yordam beradi va maqsadni almashtirish uchun to'xtash vaqtini kamaytiradi.
√ Kengaytirilgan cho'kma tezligi, maqsadning aylanish harakati ionlanish va püskürtme samaradorligini oshirishi mumkin, bu esa yuqori cho'kindilikka olib keladi
stavkalari, shu bilan birga kerakli plyonka qalinligiga erishish uchun zarur bo'lgan umumiy jarayon vaqtini qisqartiradi.
√ Yaxshilangan plyonka sifati, yaxshilangan maqsadli foydalanish va bir xillik biriktirilgan plyonkalardagi nuqsonlar, aralashmalar va stresslarni minimallashtirishga yordam beradi,
natijada elektr, optik va mexanik xususiyatlar yaxshilanadi.
Aylanadigan mis maqsadli o'lchami
√ OD 2 dyuymdan 7 dyuymgacha
√ ID 1,5 dyuymdan 6 dyuymgacha
√ Uzunligi 50 dyuymdan 130 dyuymgacha (1270 mm dan 3302 mm gacha)
√ Moslashtirilgan aylanadigan maqsad
√ Bog'lash xizmati mavjud
Fabmann yarimo'tkazgich, kimyoviy bug'larni joylashtirish (CVD) va fizik bug 'cho'ktirish (PVD) displeylari va optik ilovalarda foydalanish uchun mumkin bo'lgan eng yuqori zichlik va eng kichik don o'lchamlari bilan yuqori toza mis purkash maqsadlarini yetkazib berishga ixtisoslashgan. Biz, shuningdek, monoblokli yoki tekislik nishoni bilan bog'langan, teshigi va yivli, yivli, o'yiq va tayanchi bilan eski püskürtme qurilmalari, shuningdek, quyosh energiyasi yoki yonilg'i xujayralari uchun keng maydon qoplamasi kabi eng yangi texnologik uskunalar bilan ta'minlay olamiz. va flip-chip ilovalari. Biz dumaloq, to'rtburchak, halqa, tasvirlar, aylanma va tadqiqot o'lchamli o'lchamlarini o'z ichiga olgan barcha standart qurollarga mos keladigan barcha shakllar va nishonlarning konfiguratsiyasi uchun maxsus ishlab chiqarish echimini taqdim eta olamiz. Bundan tashqari, Fabmann yuqori tozalikdagi mis purkash maqsadlari, shuningdek, CW008A (C10200), CW009A (C10100), CW004A (C11000), CW0024A (C12200) kabi turli navlarga ega oddiy kislorodsiz mis plitalarini etkazib beradi. qalinligi 30 mm gacha bo'lgan plitalar.
Issiq teglar: mis purkash maqsadi, Xitoy, ishlab chiqaruvchilar, etkazib beruvchilar, zavod, buyurtma
